Abgeschlossene Dissertationen
Trockenätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen zur besonderen Verwendung für ALD/CVD/PVD-Kammerreinigungsprozesse
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Hellriegel, Ronald
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten
Schlagwörter
Trockenätzen, Titannitrid, Kammerreinigung, Halogenverbindungen
Berichtsjahr
2009