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Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Strobel, Carsten
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2012