Abgeschlossene Dissertationen
Prozessdiagnostik an der Atomlagenabscheidung von auf TaN-basierenden Schichten
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Seiffert (Schmidt), Daniela
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2012