Abgeschlossene Dissertationen
Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung von leitfähigen Tantalnitrid-basierten Dünnschichten
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Hossbach, Christph
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Url/Urn/Doi
ISBN 978-3-8495-7446-8
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2014