LV Plasmatechnik
| für Studium | Mechatronik 8 Semester; PT: TWF |
| Modul | Spezielle Fertigungsverfahren/Grundlagen |
| Dozent | Prof. Dr.-Ing. Arnold |
| Ansprechpartner | Dipl.-Ing. A. Richter, Zeu 317 |
| Umfang | 1/1/0 |
| Prüfung | schriftlich/ohne Hilfsmittel/1DS |
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Termine/Turnus |
nur im SS, Start jeweils im April |
| Lehrmaterial | siehe Einführungsvorlesung und Downloads |
- Link zum Vorlesungsplan
- Link zum Vorlesungsdownload
Inhalt:
- Physikalische Grundlagen des Zustandes Plasma und der Plasmatechnik
- Abhängigkeit eines Plasmas von der Dichte, Druck, Temperatur und
der mittleren freien Weglänge
- Charakterisierung eines Plasmas mittels Ionisationsgrad
- technisch nutzbare Plasmen /Feldfrequenzen
- Niederdruck- und Hochdruckplasmen
- Plasmaquellen
- Plasmaverfahren zum Beschichten, Strukturieren, Abtragen, Reinigen
- Plasmaquellen für PVD/CVD-Verfahren
- Verfahren Plasmanitrieren, Plasmaspritzen, Erodieren sowie Plasmaaktivierung von Oberflächen
- Vorführung fast aller Verfahren durch Spezialisten