LV Mikro- Fein- und Ultrapräzisionsbearbeitung
| für Studium | Produktionstechnik, Mechatronik,WING, 9 Semester |
| Modul | Spezielle Fertigungsverfahren |
| Dozent | Prof. Dr. rer.nat. Th. Arnold |
| Ansprechpartner | Prof. Th. Arnold |
| Umfang | 2/0/0 |
| Prüfung | Beleg |
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Termine/Turnus |
nur im WS, Start jeweils im Oktober |
| Lehrmaterial |
siehe Einführungsvorlesung und Downloads |
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Inhalt
- Einführung in die Randbedingungen einer mikro- und submikroskaligen Teilefertigung: Beschreibungder herstellbaren Formenwelt, Abmessungen und bearbeitbaren Werkstoffe,
- Wirkprinzipe von Bearbeitungsverfahren, Werkstück- und Werkzeugdimension und Fertigungsprozesse der Mikro-, Fein- und Ultrapräzisionsbearbeitung,
- mechanische Mikro- und Feinbearbeitung mit starren Werkzeugen, z.B. Bohren und Fräsen, und mit nichtstarren Werkzeugen, z.B. Strahlverfahren; Erläuterung der angepassten Antriebe, energetischen Quellen u.s.w.,
- Darstellung hybrider Verfahren der Mikro- und Feinbearbeitung,
- Vermittlung von Fertigungsbedingungen,
- Auslegungsmöglichkeiten und Optimierungspotentiale,
- Fertigungsprozesse Ultrapräzisions-Oberflächenbearbeitung für Halbleiter- und Optikanwendungen,
- Wirkprinzipe teilchenstrahlbasierter Werkzeuge,
- Verfahren der Ultrapräzisions-Oberflächenbearbeitung mit teilchenstrahlbasierten Werkzeugen, z.B. Ionen- und Plasmastrahlverfahren, Hybridverfahren,
- Methoden zur ultrapräzisen Vermessung von Oberflächen,
- Strahlquellen und Maschinenkomponenten,
- Auslegung von Bearbeitungsmaschinen.