LV Plasmatechnik
| für Studium |
Mechatronik 8 Semester; Maschinenbau/Produktionstechnik 6. Semester |
| Modul |
MT: Spezielle Fertigungsverfahren/Grundlagen MT-A09-G MB: Plasma- und Lasertechnik MB-PT-09 |
| Dozent | Prof. Dr.-Ing. Th. Arnold u.a. |
| Ansprechpartner | |
| Umfang | 1/1/0 |
| Prüfung | Modulprüfung; schriftlich/ohne Hilfsmittel/ 150min |
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Termine/Turnus |
nur im SS, Start jeweils im April |
| Lehrmaterial | siehe Einführungsvorlesung und Downloads |
- Link zum Vorlesungsplan
- Link zum Vorlesungsdownload
Inhalt:
- Physikalische Grundlagen des Zustandes Plasma und der Plasmatechnik
- Abhängigkeit eines Plasmas von der Dichte, Druck, Temperatur und
der mittleren freien Weglänge
- Charakterisierung eines Plasmas mittels Ionisationsgrad
- technisch nutzbare Plasmen /Feldfrequenzen
- Niederdruck- und Hochdruckplasmen
- Plasmaquellen
- Plasmaverfahren zum Beschichten, Strukturieren, Abtragen, Reinigen
- Plasmaquellen für PVD/CVD-Verfahren
- Verfahren Plasmanitrieren, Plasmaspritzen, Erodieren sowie Plasmaaktivierung von Oberflächen
- Vorführung fast aller Verfahren durch Spezialisten