LV Plasmatechnik

Produktionstechnik bis IJ 2011, Modul Spezielle Fert.methoden und Mikrofert.technik

Die Vorlesung wird leztmalig im Wintersemester gehalten. Ab SS 2016 nur noch im SS. Links siehe rechte Spalte.
 Inhalt:
- Physikalische Grundlagen des Zustandes Plasma und der Plasmatechnik
- Abhängigkeit eines Plasmas von der Dichte, Druck, Temperatur und
  der mittleren freien Weglänge
- Charakterisierung eines Plasmas mittels Ionisationsgrad
- technisch nutzbare Plasmen /Feldfrequenzen
- Niederdruck- und Hochdruckplasmen
- Plasmaquellen
- Plasmaverfahren zum Beschichten, Strukturieren, Abtragen, Reinigen
- Plasmaquellen für PVD/CVD-Verfahren
- Verfahren Plasmanitrieren, Plasmaspritzen, Erodieren sowie Plasmaaktivierung von Oberflächen
- Vorführung fast aller Verfahren durch Spezialisten

Den Link zum aktuellen Vorlesungsplan finden Sie in der rechten Spalte unter Aktuelles!

Des weiteren bieten wir dort verschiedene HiWi- und Praktikumsstellen an.


Eventuelle Rückfragen bitte an
Frau Richter, Zeu 317, Tel. 4633 9637
Herrn Dr. Kötter, Zeu 317, Tel. 4633 4489