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Die Professur stellt sich vor

Die Stiftungsprofessur beschäftigt sich mit der
Entwicklung von plasma- und ionenstrahlgestützten Verfahren, Werkzeugen und Systemen für die Ultrapräzisionsbearbeitung vorzugsweise optischer Oberflächen und der Generierung von Oberflächenformen und Oberflächenstrukturen im Genauigkeitsbereich weniger Nanometer.

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