Endowed Chair of Ultra-Precision Surface Machining Using Ions and Plasmas

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Oct 03, 2022

Lehrveranstaltung: Mikro- und Nanotechnologien WS 2022/2023

Inhaber der Professur

Prof. Dr. rer. nat. Thomas Arnold ist seit 1. August 2014 Inhaber der Stiftungsprofessur für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen. Er leitet außerdem die Arbeitsgruppe 'Ultrapräzisionsformgebung mit Plasmen und Ionen' am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. in Leipzig.

Das Foto zeigt einen Laptop mit schwarzem Bildschirm, rechts daneben ein geöffnetes, leeres Notizbuch und einen daraufliegenden Stift auf einer hölzernen Oberfläche.

Studium

Prof. Thomas Arnold bietet im Wintersemester die Vorlesung "Mikro- Fein und Ultrapräzisionsbearbeitung" im Rahmen des Hauptstudiums an. Außerdem besteht die Möglichkeit, Beleg- und Abschlussarbeiten in einem der Schwerpunkte der Professur zu absolvieren.

Forschung

An der Professur werden Mechanismen der Wechselwirkung chemisch reaktiver Atmosphärendruck-Plasmajets sowie niederenergetischer Ionenstrahlen mit Oberflächen grundlegend untersucht und daraus deterministische Bearbeitungstechnologien zur ultrapräzisen Formgebung von Oberflächen bis hin zu industrietauglichen Fertigungsketten entwickelt.

Die Professur

Die Stiftungsprofessur für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen (UPB) beschäftigt sich mit der Erforschung und Entwicklung von teilchenstrahl-basierten Werkzeugen mit atomaren Wirkmechanismen und deren Anwendung in Verfahren und Verfahrensketten. Ziel ist es, hochgenaue Oberflächen sowohl in Bezug auf ihre Form als auch bei der Welligkeit und Mikrorauheit zu erzeugen.

Die Stiftungsprofessur ist am Institut für Fertigungstechnik der TUD angegliedert.

Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten finden hauptsächlich in den Laboren des Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. in Leipzig statt.