Jul 08, 2024; Defence

Verteidigung Interdiszip­linäre Projektarbeit (IPA) Ansgard Karin Nemec

Speaker(s) Ansgard Karin Nemec
Start and end time 02:00 PM - 03:00 PM
Location PAU/212/H

Thema: „Entwicklung eines Konzepts zur brenngasfreien Entsorgung perfluorierter Verbindungen aus Halbleiterfertigungsprozessen am Beispiel von Kohlenstrofftetrafluorid“

Betreuer: 
Dr. Felix Marschallek (DAS Environmental Expert GmbH)
M.Sc. Qiu Lu (TU Dresden)
Dr.-Ing. Daniel Bernhardt (TU Dresden)

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Sandra Leik
Last modified: Jun 11, 2024