Dr. Marko Swoboda

2025

• Method for manufacturing cdte based thin film solar cell with graded refractive index profile within the cdte-based absorber layer and cdte based thin film solar cell with graded refractive index profilePeng, S., Ma, L., Fu, G., Yin, X., Arndt, R. & Swoboda, M., 27 Nov. 2025, IPC (Internationale Patentklassifikation) H10F 77/ 42 A I, United States Patent and Trademark Office (PTO), Patent Nr. US2025366253, 8 Juni 2022, Prioritätsdatum 8 Juni 2022, Prioritätsnr. WO2022CN97642Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Semiconductor wafer splitting methodBeyer, C., Santos Rodriguez, F. J., Schulze, H. & Swoboda, M., 4 Sept. 2025, IPC (Internationale Patentklassifikation) H10D 84/ 03 A I, United States Patent and Trademark Office (PTO), Patent Nr. US2025280591, 16 Mai 2025, Prioritätsdatum 16 Mai 2025, Prioritätsnr. US202519210065Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Cdte-Basierte Dünnschichtsolarzellenvorrichtung mit Diffusionssperrschicht und Herstellungsverfahren DafürPeng, S., Ma, L., Yin, X., Fu, G., Arndt, R. & Swoboda, M., 20 Aug. 2025, Weltorganisation für geistiges Eigentum (WIPO), Patent Nr. EP4602655, 14 Okt. 2022, Prioritätsdatum 14 Okt. 2022, Prioritätsnr. WO2022CN125288Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Verfahren zur Herstellung einer kupferfreien CDTE-basierten DünnschichtsolarzellenvorrichtungPeng, S., Yin, X., Fu, G., Ma, L., Arndt, R., Papageorgiou, G., Drost, C. & 1 weitere, 23 Juli 2025, Weltorganisation für geistiges Eigentum (WIPO), Patent Nr. EP4588110, 15 Sept. 2022, Prioritätsdatum 15 Sept. 2022, Prioritätsnr. WO2022CN119060Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Verfahren zum Erzeugen von kurzen unterkritischen Rissen in FestkörpernRichter, J., Swoboda, M., Ullrich, A. & Rieske, R., 2 April 2025, IPC (Internationale Patentklassifikation) B23K 103/ 00 A N, European Patent Office (EPO), Patent Nr. EP4530011, 19 Feb. 2019, Prioritätsdatum 19 Feb. 2019, Prioritätsnr. EP20190706949Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent

2024

• Method and apparatus for producing at least one modification in a solid bodyRieske, R., Swoboda, M. & Ullrich, A., 12 Dez. 2024, IPC (Internationale Patentklassifikation) H01L 21/ 78 A I, United States Patent and Trademark Office (PTO), Patent Nr. US2024413023, 21 Aug. 2024, Prioritätsdatum 21 Aug. 2024, Prioritätsnr. US202418811003Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent

2023

• Method for Separating Wafers from Donor SubstratesSwoboda, M. D., Beyer, C., Rieske, R., Ullrich, A. & Richter, J., 7 Dez. 2023, IPC (Internationale Patentklassifikation) B28D 5/ 00 A I, United States Patent and Trademark Office (PTO), Patent Nr. US2023390961, 23 Aug. 2023, Prioritätsdatum 23 Aug. 2023, Prioritätsnr. US202318454474Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Parent Substrate, Wafer Composite and Methods of Manufacturing Crystalline Substrates and Semiconductor DevicesRieske, R., Binter, A., Diewald, W., Goller, B., Graf, H., Lackner, G., Richter, J. & 3 weitere, 19 Okt. 2023, IPC (Internationale Patentklassifikation) H01L 21/ 78 A I, United States Patent and Trademark Office (PTO), Patent Nr. US2023330769, 16 Juni 2023, Prioritätsdatum 16 Juni 2023, Prioritätsnr. US202318336643Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Verfahren zum Abtrennen durch Laserbestrahlung einer Festkörperschicht von einem FestkörperRieske, R., Swoboda, M. & Richter, J., 19 April 2023, IPC (Internationale Patentklassifikation) B23K 103/ 00 A N, European Patent Office (EPO), Patent Nr. EP4166270, 22 März 2017, Prioritätsdatum 22 März 2017, Prioritätsnr. EP20170712966Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent
• Verfahren zum Erzeugen von mindestens einer zumindest abschnittweise gewölbten oder gebogenen FestkörperschichtRieske, R., Swoboda, M. & Richter, J., 19 April 2023, IPC (Internationale Patentklassifikation) B23K 103/ 00 A N, European Patent Office (EPO), Patent Nr. EP4166271, 22 März 2017, Prioritätsdatum 22 März 2017, Prioritätsnr. EP20170712966Publikation: Geistiges Eigentum > Patentanmeldung/Patent