Optische Metrologie
Durch das Gerät FRT MicroProf 200 können optische Profil- und Schichtdickenmessungen von flachen Probengebieten durchgeführt werden.
Beispielprofil einer 500-Lire-Münze
Die Profilmessungen werden mit einem entsprechenden Sensor durch chromatisch-konfokale Abstandsmessung durchgeführt. Dabei wird die chromatische Aberration einer Linse ausgenutzt, um durch unterschiedlichen Brennpunkte der verschiedenen Lichtfarben auf unterschiedliche Abstände fokussiert, wodurch die Reflexionsfarben einer strukturierten Oberfläche einer Farbdarstellung des Höhenprofils entsprechen. Über einen x-y-Tisch können Gebiete von ca. 20 cm x 20 cm mit bis zu 2 µm Genauigkeit abgerastert werden. Die Profilhöhe bzw. -tiefe ist so auf bis zu ca. 10 nm genau bestimmbar.
Oberflächenprofil eines prozessierten Wafers
Zusätzlich können transparente Schichtstapel durch einen weiteren Sensor reflektometrisch vermessen werden. Dabei wird das sichtbare (Halogen) bzw. ultraviolette (Deuterium) Spektrum der Teilreflektionen an den verschiedenen Schichtgrenzen ausgewertet, wodurch Dicken auf bis zu ca. 15 nm genau bestimmbar sind.
MicroProf 200 und zugehöriger Arbeitsplatz
Wir bedanken uns ausdrücklich bei der Fa. FHR Anlagenbau GmbH für die Überlassung dieses Gerätes!