Vorlesung Mikroelektronikwerkstoffe: Grundlagen und Diagnostik 1
NAME DER LEHRVERANSTALTUNG: Mikroelektronikwerkstoffe: Grundlagen und Diagnostik 1
(Stand: Oktober 2018)
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Dozent |
Prof. Dr.-Ing. habil. J. Bauch |
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Ansprechpartner |
Dipl.-Math. S. Enghardt |
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Umfang |
2 SWS Vorlesung, Selbststudium |
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| Prüfungsart | Klausurarbeit |
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Prüfungsdauer |
120 min |
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Prüfungshilfsmittel |
Keine |
| Weitere Informationen | Die Klausur umfasst beide Modulteile ("Mikroelektronikwerkstoffe 1", "Mikroelektronikwerkstoffe 2") und wird am Ende des Wintersemesters geschrieben. |
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Termine/Turnus |
Vorlesung über ein Semester, Beginn im Sommersemester |
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Lehrmaterial |
Nitzsche / Ullrich (Hrsg.): Funktionswerkstoffe der Elektrotechnik und Elektronik Klös: Nanoelektronik Bauch / Rosenkranz: Physikalische Werkstoffdiagnostik |
Inhalt der Lehrveranstaltung
Die Studierenden erhalten fundierte festkörperphysikalische Kenntnisse über spezielle Werkstoffe und Schichtstrukturen der Mikro- und Nanoelektronik sowie deren Bezug zu resultierenden Eigenschaften von Bauelementen. Sie werden außerdem befähigt, qualifizierte Werkstoffuntersuchungen der physikalischen und elektrischen Fehlerdiagnostik durchzuführen und auszuwerten. Im Einzelnen werden werkstoffwissenschaftliche und bauelementetechnische Grundlagen von Werkstoffen der Mikro- und Nanoelektronik unter besonderer Berücksichtigung dünner Schicht- und Bauelementestrukturen behandelt. Weiterhin erhalten die Studierenden einen Überblick zu halbleitertechnologischen Grundlagen und zur Theorie und Praxis ausgewählter diagnostischer Methoden in der Mikro- und Nanoelektronik sowie zur abbildenden und strukturellen Werkstoffcharakterisierung.
Ausführlichere Informationen zur Lehrveranstaltung erhalten sie hier.