1991-1995
INTEGRATED PROCESSING OF STACKED-GATE HETEROSTRUCTURES - PLASMA-ASSISTED LOW-TEMPERATURE PROCESSING COMBINED WITH RAPID THERMAL HIGH-TEMPERATURE PROCESSING
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Jahrgang/Erscheinungsjahr
1994
Band/Vol.
25
Heftnummer/Issue
2-4
Seiten
209-214
Referiert
Nein
ISSN
0167-9317
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
1994
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