Am 30. Januar 2009 übergibt Carl Zeiss SMT das 1500. Rasterelektronenmikroskop vom Typ GEMINI® an das "Center for nondestructive nano evaluation - nanoeva®" in Dresden. Nanoeva® ist eine Gemeinschaftseinrichtung des Instituts für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) der TU Dresden und des Fraunhofer Instituts für zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP-D) mit seinem Dresdner Institutsteil. Wesentliches Einsatzgebiet des Elektronenmikroskops bei nanoeva® werden Forschungen für die Aufbau- und Verbindungstechnik von elektronischen und mikrotechnischen Modulen für die Systemintegration sein. Der dabei auftretende Materialmix von Silizium bis hin zu Kunststoffen erfordert angepasste Untersuchungsmethoden.

Das speziell für nanoeva® konfigurierte System bietet eine besondere Kombination von hochauflösender Abbildung von Probendetails mit zahlreichen Analysemöglichkeiten, wie zum Beispiel chemische Elementanalyse oder Größen- und Abstandsmessung mit Genauigkeiten im Millionstelmillimeterbereich. Der Leiter des Produktmanagements Elektronenmikroskopie bei Carl Zeiss, Dr. Thomas Albrecht, hebt hervor: "1500 Rasterelektronenmikroskope vom Typ GEMINI® spiegeln nicht nur das hohe Vertrauen der Kunden in diese Technologie und deren Nutzen wider, sondern bieten auch die Chance, sich mit zahlreichen Anwendern weltweit zu vernetzen und Erfahrungen für eine optimale Bedienung auszutauschen. Eine Aufgabe, in die wir natürlich auch die langjährige Expertise unserer Applikationsspezialisten einbringen. Wir stehen für den Anspruch, der Probe möglichst viele Informationen zu entlocken."

Prof. Klaus-Jürgen Wolter vom IAVT an der TU Dresden erläutert:
"Spitzenforschung für die Mikro- und Nanotechnologien benötigt hochleistungsfähige Werkzeuge zur Analyse und Visualisierung von Proben. Das GEMINI® Rasterelektronenmikroskop von Carl Zeiss ergänzt die Reihe unserer Untersuchungswerkzeuge ideal. Sowohl für eigene Arbeiten als auch für Kundenaufträge können wir jetzt aus dem sprichwörtlich Vollen schöpfen. Die Brücke von Forschung und Lehre zu industrieller Entwicklung ist damit noch breiter und leistungsfähiger geworden."

Die Einweihungsveranstaltung beginnt am Freitag, den 30. Januar 2009 um 13 Uhr im Barkhausen-Bau der TU Dresden, Hörsaal 205.

GEMINI® Technologie

Die GEMINI® Technologie für Rasterelektronenmikroskope (REM) ist seit 1994 im Einsatz und viele technische Lösungen und Anwendungen sind für Carl Zeiss patentiert. Der spezielle Aufbau der Elektronenstrahlsäule bietet neben einer hohen Detailauflösung beispielsweise die Möglichkeit auch magnetische Proben zu untersuchen, was bei REM anderer Bauweise nur zu unbefriedigenden Ergebnissen führt. 1500 Systeme mit dieser Technologie sind mittlerweile weltweit in Industrie, Forschung und Lehre installiert und helfen bei der Erforschung des Nanokosmos. Insbesondere die Bereiche Materialforschung, Life Sciences und Halbleitertechnologie sowie die Nanotechnologien profitieren von den Vorteilen der GEMINI® Technologie.

Über Carl Zeiss SMT

Basierend auf einem weltweit führenden Know-how in licht-, elektronen- und ionenoptischen Technologien bietet Carl Zeiss SMT seinen Kunden in der Industrie sowie in Forschung und Entwicklung ein breites Portfolio von Produkten, Serviceleistungen und Applikationslösungen an. Einsatz finden die marktführenden Systeme und Lösungen der Carl Zeiss SMT in den sich gegenseitig stärkenden Anwendungsfeldern der Nanotechnologie wie der Halbleitertechnik, der Materialforschung und den Life Sciences. Die weltweite Kundengemeinschaft wächst kontinuierlich. Als Innovationsführer für Lithographieoptik sowie optischen und partikelstrahlbasierten Inspektions-, Analyse- und Messsystemen öffnet Carl Zeiss SMT den Kunden zukunftsweisende Wege in industriellen Produktionsumgebungen, der Qualitätssicherung sowie der industriellen und universitären Forschung und Entwicklung. Zusammen mit Tochtergesellschaften in Deutschland, England, Frankreich, USA, Israel und Singapur beschäftigt die internationale Unternehmensgruppe über 2500 Mitarbeiter. Im Geschäftsjahr 2007/2008 erwirtschaftete das 100%-ige Tochterunternehmen der Carl Zeiss AG einen Umsatz von über 1000 Millionen Euro.

Weitere Informationen: www.smt.zeiss.com 

Informationen für Journalisten:
Markus Wiederspahn
Carl Zeiss SMT AG
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