Am 2. Dezember 2013 um 13 Uhr wird GLOBALFOUNDRIES an die TU Dresden ein hochspezialisiertes Elektronen- und Ionenmikroskop übergeben. Mit Hilfe dieses Expida 1285 des Herstellers FEI Company können Nanostrukturen auf großen Substratflächen wie z. B. 300 mm Silizium-Wafern sowohl erzeugt als auch abgebildet werden. Das war bisher mit der im Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden befindlichen Technik nicht möglich.

„Die TU Dresden ist ein sehr wichtiger Forschungspartner für uns und die ganze Region“, sagte Dr. Rutger Wijburg, Geschäftsführer von GLOBALFOUNDRIES Dresden. „Wir freuen uns, mit diesem Gerät die hervorragende Arbeit des Instituts für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden unterstützen zu können.“

Vergleichbare Geräte befinden sich zwar an anderen Dresdner Forschungsstandorten, allerdings sind diese nicht für den Umgang mit großen Substraten geeignet. „Das aber ist bei der Wafer-Bearbeitung unbedingt erforderlich“, hebt Dr. Christian Wenzel von der Professur für Halbleitertechnik des Institutes hervor.

Die TU Dresden freue sich über diese für die Forschung und Entwicklung wichtige Unterstützung, so der Rektor der TU Dresden, Prof. Hans Müller-Steinhagen. „Die Inbetriebnahme des Elektronen- und Ionenmikroskops Expida 1285 am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik unserer Universität ermöglicht nicht nur unseren Wissenschaftlern, Nano-Strukturen auf Silizium-Wafern besser zu untersuchen und zu verändern, sondern stärkt dadurch gleichermaßen das Miteinander von TU Dresden und GLOBALFOUNDRIES sowie die Forschungs- und Entwicklungskraft im sogenannten Silicon Saxony“.

GLOBALFOUNDRIES Dresden fühlt sich der TU Dresden eng verbunden: jeder achte der rund 3.700 Fab 1-Mitarbeiter ist Absolvent der TUD. Dazu kommen gemeinsame Forschungsvorhaben, GLOBALFOUNDRIES‘ Engagement bei der Gestaltung des Pilotstudiengangs „Nanoelektronische Systeme“ sowie die Förderung der  Dresden Microelectronics Academy.

Informationen für Journalisten:
Jens Drews, GLOBALFOUNDRIES Dresden

Tel. (0351) 277-1010

Mathias Bäumel, Technische Universität Dresden

Tel. (0351) 463-32427