Geräte

Rasterelektronenmikrsokop  FEI Quanta^TM 650 FEG

© M.Kretzschmar

• Beschleunigungsspannung: 200 V bis 30 kV
• Hochaufgelöste Schottky Feldemissionsquelle
• Auflösung des Elektronenstrahls:
  • 1,4 nm in Niedrigvakuum
    (10-4000 Pa)
  • 1,0 nm im Hochvakuum
• Detektoren
  • SE
  • ETD

  • LF-GSED

  • GSED

  • BS

  • ESEM GAD
• Vergößerung: 6x bis 1 000 000x