Geräte
Rasterelektronenmikrsokop FEI QuantaTM 650 FEG
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Rasterelektronenmikroskop
- Beschleunigungsspannung: 200 V bis 30 kV
- Hochaufgelöste Schottky Feldemissionsquelle
- Auflösung des Elektronenstrahls:
- 1,4 nm in Niedrigvakuum
(10-4000 Pa) - 1,0 nm im Hochvakuum
- 1,4 nm in Niedrigvakuum
- Detektoren
- SE
- ETD
-
LF-GSED
-
GSED
-
BS
- ESEM GAD
- Vergößerung: 6x bis 1 000 000x