Plasmatechnik
Lehrender: Dr. P. Frach (Fraunhofer-FEP)
Teil des Moduls
ET-12 11 05 Plasmatechnik
Modulverantwortlicher: Prof. Dr.-Ing. habil. G. Gerlach
| Semester | 9. Semester, Wahlpflichtmodul ET-MEL und IST-MEL |
| V/Ü/P | 4/2/0 |
| Leistungspunkte | 7 LP |
| Lehrveranstaltungen (IFE) |
Plasmatechnik (4/2/0) |
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Prüfungsform |
Klausur 90 min |
Inhalte
Das Modul umfasst inhaltlich Plasmaverfahren zur Beschichtung, Oberflächenbearbeitung, Oberflächenmodifizierung, Strukturierung und Reinigung sowie Abscheidung funktionaler Schichten und Schichtsysteme.
Qualifikationsziele
Die Studierenden sind in der Lage, mit den physikalischen Grundlagen Plasmen in Prozessanlagen zu nutzen, die wichtigsten technischen Plasmaquellen und Plasmabearbeitungssysteme auszuwählen sowie die wichtigsten Schichten und Schichtsysteme aus der technischen Praxis in den wesentlichen Anwendungsgebieten einzuordnen.
Termine WiSe 2019/20
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Vorlesung |
Do 1./2. DS BAR 213 |
| Übung | Ort und Zeit nach Vereinbarung |