Plasmatechnik
Lehrende: Prof. von Hauff, Elizabeth
Die Lehrveranstaltung (Lehrsprache Englisch) wird ab Wintersemester 2022/23 wieder angeboten.
Teil des Moduls
Modulverantwortlicher: Prof. Dr.-Ing. habil. G. Gerlach
| Semester |
9. Semester, Wahlpflichtmodul ET-MEL , Profil HMT |
| V/Ü/P | 4/2/0 |
| Leistungspunkte | 7 LP |
| Lehrveranstaltungen (IFE) |
Plasmatechnik (4/2/0) |
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Prüfungsform |
Klausur 90 min |
Inhalte
Das Modul umfasst inhaltlich Plasmaverfahren zur Beschichtung, Oberflächenbearbeitung, Oberflächenmodifizierung, Strukturierung und Reinigung sowie Abscheidung funktionaler Schichten und Schichtsysteme.
Qualifikationsziele
Die Studierenden sind in der Lage, mit den physikalischen Grundlagen Plasmen in Prozessanlagen zu nutzen, die wichtigsten technischen Plasmaquellen und Plasmabearbeitungssysteme auszuwählen sowie die wichtigsten Schichten und Schichtsysteme aus der technischen Praxis in den wesentlichen Anwendungsgebieten einzuordnen.
Termine WiSe 2022/23
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Vorlesung |
Ankündigung folgt im Okt. 2022 |
| Übung | Ankündigung folgt im Okt. 2022 |