Veröffentlichungen Halbleitertechnik 2009 21 bis 24 von 24 EinträgenKeil, K.; Choi, K.-H.; Hohle, C.; Kretz, J.; Szikszai, L.; Bartha, J.W.: Detailed characterization of hydrogen silsesquixane for e-beam applications in a dynamic random access memory pilot line environment. In: J. Vac. Sci. Technol. B 27(1) (2009), S. 1071–1023Gorbatenko, L.S.; Novodvorsky, O.A.; Panchenko, V.Ya.; Khramova, O.D.; Cherebilo, Ye.A.; Lotin, A.A.; Wenzel, C.; Trumpaicka, N.; Bartha, J.W.: Characterization of ZnO:Ga and ZnO:N films prepared by PLD. In: Laser Physics Vol. 19, Nr. 5 (2009), S. 1152–1158Strobel, C.; Schmidt, C.; Zimmermann, T. ; Albert, M.; Bartha, J.W.; Kuske, J.: Amorphous and microcrystalline silicon p-i-in solar cells on flexible polymer substrates deposited by an inline VHF-PECVD deposition system. In: Proc. of the 24th European Photovoltaic Solar Engery Conf., Hamburg 2009 (2009)Новодворский, O.A.; Горбатенко, Л. С.; Панченко, В. Я.; Храмова, О. Д.; Черебыло, Е. А.; Венцель, К.; Барта, Й. В.; Бублик, В. Т.; Щербачев, К. Д.: Оптические и структурные характеристики пленок оксида цинка, легированных галлием. In: Физика и техника полупроводников, 2009 том 43 (2009), S. 439–444Zurück 1 2 3 Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.