Dr.-Ing. Philipp J. Mehner

Modellierung und Simulation von MEMS:

• Entwicklung und Optimierung von silizium-basierten, elektro-statischen MEMS, einschließlich Beschleunigungssensoren, Drehratensensoren und Mikrospiegeln.
• Anwendung und Vergleich verschiedener Modellierungstechniken und -werkzeuge, wie FEM (Ansys, Comsol), Signalfluss (Matlab Simulink) und Netzwerkbeschreibung (LTspice).

Rapid Prototyping und Fertigungstechnologien:

• Untersuchung und Anwendung von UV-Laserablationstechniken für die Herstellung von MEMS für Grundlagenforschung.
• Analyse von Fertigungstollreanzen (u.a. REM).

Experimentelle Validierung:

• experimentellen Verifikationen der Modellierungsergebnisse und Sicherstellung der Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Robustheit der entwickelten Modelle.

Dissertation: „Modellierung und Simulation von Komponenten und Schaltungen mit intrinsisch aktiven Polymeren“ mittels FEM (Ansys), Signalflussgraphen (Matlab Simulink) und Netzwerkbeschreibung (LTspice).

• Praktikumsversuch MST: MME 1 – SIMULATION MIKROMECHANISCHER AKTOREN

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