Dr.-Ing. Martin Knaut

Arbeits- und Forschungsbereiche

Chemische Abscheidung dünnster Schichten für Anwendungen in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, insbesondere thermische und plasmagestützte Atomlagenabscheidung (ALD)
Entwicklung und Charakterisierung neuer ALD-Prozesse und Anpassung der entsprechenden Anlagentechnik
In situ und ex situ Messtechniken zur Überwachung und Entwicklung von ALD Prozessen
- Schwingquarzmessungen (QCM)
- Photoelektronenspektroskopie (XPS, UPS)
- Rasterkraftmikroskopie (AFM)
- Rastertunnelmikroskopie (STM, STS)
- Massenspektrometrie (QMS)
- Spektroskopische Ellipsometrie (SE)
Untersuchung und Charakterisierung von Oberflächen, Grenzflächen und dünnsten Schichten bzw. Schichtstapeln
Elektrische Charakterisierung funktionaler Schichten und Strukturen
Rechentechnik- und Netzwerkadministrator am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Administrator und Chefredakteur des Internetauftritts des IHM
Strahlenschutzbeauftragter am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Gründungsmitglied ALPIN - Atomic Layer Processing Innovation Network

E-Mail: martin.knaut(at)tu-dresden.de
Telefon: 0351 463 33817