Die Professur stellt sich vor
Die Professur widmet sich in der Forschung der Entwicklung von Einzelprozessschritten sowie der Prozessintegration der Halbleitertechnologie.
Professur für Nanoelektronik
Die Professur für Nanoelektronik beschäftigt sich mit der Entwickung von Einzelprozessschritten (ALD, PVD, Ätzen, Lithografie) sowie der Prozessintegration in der Halbleitertechnik.
In der Lehre werden von der Professur folgende Lehrveranstaltungen abgedeckt: