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Die Professur stellt sich vor

Die Professur widmet sich in der Forschung der Entwicklung von Einzelprozessschritten sowie der Prozessintegration der Halbleitertechnologie.

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News der Professur

SFB/TRR Active-3D
25.11.2024
Neuer SFB/TRR zusammen mit der RWTH Aachen - Sprecher Prof. Dr. Thomas Mikolajick
Stellenangebot © PantherMedia / Boris Zerwann
24.04.2024
Neue Stellenausschrei­bung
Prof. Dr.-Ing. habil. Kurt Drescher © Prof. Dr.-Ing. habil. Kurt Drescher
28.03.2023
Nachruf Prof. Drescher
Weitere News

Wichtige Themen im Überblick

Mikolajick_Thomas_2.jpg © Martin Knaut (TU Dresden)
Inhaber

Prof. Dr.-Ing. Thomas Mikolajick ist der Inhaber der Professur für Nanoelektronik an der TU Dresden. Er ist außerdem wissenschaftlicher Direktor der NaMLab gGmbH, einem 100-prozentigen An-Institut der TU.
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Beschäftig­te

Übersicht und Kontaktdaten aller Mitarbeiter der Professur.
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Veröffent­lichungen

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Waferhandling im IHM Reinraum © ForLab

Professur für Nanoelektronik

Die Professur für Nanoelektronik beschäftigt sich mit der Entwickung von Einzelprozessschritten (ALD, PVD, Ätzen, Lithografie) sowie der Prozessintegration in der Halbleitertechnik.

In der Lehre werden von der Professur folgende Lehrveranstaltungen abgedeckt:

Lehrveranstaltungen

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