Mikrosysteme

Opal: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/12277776396?3

Lehrveranstaltung für:

• Mikrosysteme für Mikroelektronik

• Mikrosysteme für Mechatronik und Feinwerktechnik

• Mikrosystemtechnik für Wing

Prof. Dr.-Ing. A. Richter

Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik

 
Modul: Mikrosystem- und Halbleitertechnologie

• Beginn:  12. Oktober 2026
• Zeit:  Montag,  5. DS
• Veranstaltungsort: N63/A001/U

Hörerkreis

Studenten des Studienganges Elektrotechnik, Studienrichtung Mikroelektronik  sowie interessierte Studenten und Doktoranden anderer Fachrichtungen

Schwerpunkte

• Mikrosystemtechnik (Begriffsbestimmung, Bestandteile, Aufbau, Anwendungsgebiete, technische und wirtschaftliche Bedeutung, Tendenzen, Beispiele)
• Technologische Verfahren für die Mikrosystemtechnik
• Mikrosensoren
• Mikroaktoren
• Energieversorgung von Mikrosystemen
• Zukunftstechnologien

Das zur Vorlesung gehörende Praktikum (0/0/2) findet im Sommersemester 2026 statt. Für Wirtschaftsingenieure findet das Praktikum im WS 26/27 statt.

Die Praktikumeinschreibung erfolgt  im OPAL.

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