Mikrosysteme
Opal: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/12277776396?3
Lehrveranstaltung für:
- Mikrosysteme für Mikroelektronik
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Mikrosysteme für Mechatronik und Feinwerktechnik
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Mikrosystemtechnik für Wing
Prof. Dr.-Ing. A. Richter
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Modul: Mikrosystem- und Halbleitertechnologie
- Beginn: 11. Oktober 2021
- Zeit: Montag, 4. DS (13:00 bis 14:30)
- Veranstaltungsform: hybrid - Rotoation Präsenz in MIE 116 und online 1)
1) Der Ort der ersten Lehrveranstaltung am 11.10.2021 wird evtl. gesondert bekannt gegeben.
Hörerkreis
Studenten des Studienganges Elektrotechnik, Studienrichtung Mikroelektronik sowie interessierte Studenten und Doktoranden anderer Fachrichtungen
Schwerpunkte
- Mikrosystemtechnik (Begriffsbestimmung, Bestandteile, Aufbau, Anwendungsgebiete, technische und wirtschaftliche Bedeutung, Tendenzen, Beispiele)
- Technologische Verfahren für die Mikrosystemtechnik
- Mikrosensoren
- Mikroaktoren
- Energieversorgung von Mikrosystemen
- Zukunftstechnologien
Das zur Vorlesung gehörende Praktikum (0/0/2) findet im Sommersemester 2022 statt. Für Wirtschaftsingenieure findet das Praktikum im WS 21/22 statt.
Die Praktikumeinschreibung erfolgt im OPAL.
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