Mikrosysteme

Opal: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/12277776396?3

Lehrveranstaltung für:

• Mikrosysteme für Mikroelektronik

• Mikrosysteme für Mechatronik und Feinwerktechnik

• Mikrosystemtechnik für Wing

Prof. Dr.-Ing. A. Richter

Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik

 
Modul: EuI-ET-C-MSTSe Mikrosystemtechnik und Sensorik (Mikroelektroniker)

(ehemals Modul Mikrosystem- und Halbleitertechnologie)

Modul: EuI-MT-E-A11V Mikrosystemtechnik (Mechatroniker)

• Beginn: 12. Oktober 2026
• Zeit:  Montag, 5. DS (14:50 - 16:20)
• Veranstaltungsort: N63/A001/U

Hörerkreis

Studenten des Studienganges Elektrotechnik, Studienrichtung Mikroelektronik  sowie interessierte Studenten und Doktoranden anderer Fachrichtungen

Schwerpunkte

• Mikrosystemtechnik (Begriffsbestimmung, Bestandteile, Aufbau, Anwendungsgebiete, technische und wirtschaftliche Bedeutung, Tendenzen, Beispiele)
• Technologische Verfahren für die Mikrosystemtechnik
• Mikrosensoren
• Mikroaktoren
• Energieversorgung von Mikrosystemen
• Zukunftstechnologien

Pratkikum

Das zur Vorlesung gehörende Praktikum (0/0/2) besteht aus den beiden Praktika: 1) dem Praktikum Werkstoffe  (0/0/1) und 2) dem Praktikum Mikrosysteme (0/0/1). Bei den Mechatronikern wurde das Praktikum Werkstoffe bereits im Sommersemester 2026 absolviert und das Praktikum Mikrosysteme wird im laufenden WS2026/27 stattfinden. Für Wirtschaftsingenieure findet nur ein Praktikum Mikrosystemtechnik (0/0/1) im WS 26/27 statt. 

Die Praktikumeinschreibung erfolgt  im OPAL.

https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/12277776396?3