Prof. Dr. rer. nat. Thomas Arnold
| Titel | Prof. Dr. rer. nat. |
| Vorname | Ulrich Thomas |
| Name | Arnold |
| Aktuelle Position |
Leiter der Professur für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen an der TU Dresden (GB/IOM Leipzig), |
| Aktuelle Institution(en), Land |
- Technische Universität Dresden, DE |
| ORCID-ID | 0000-0002-3666-2415 |
| Staatsangehörigkeit(en) | deutsch |
Qualifizierung und Werdegang
| Stationen | Zeiträume und nähere Einzelheiten |
| Studium | 1995 - 2000: Physik-Studium an der Universität Leipzig / Diplom |
| Promotion | 2005: Promotion zum Dr. rer. nat.: Thema: „Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar/SF6/O2-Plasmajet" |
| Stationen des wissenschaftlichen/ beruflichen Werdegangs |
seit 2021: Leiter Forschungsbereich 1: Ultra-Präzisionsoberflächen am IOM Leipzig seit 2020: Leiter der Professur für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen an der TU Dresden (GB/IOM Leipzig) seit 2014: Leiter der Stiftungsprofessur Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen an der TU Dresden (GB/IOM Leipzig) 2013 - 2021: Gruppenleiter Nichtkonventionelle Ultrapräzisionsbearbeitung, später Ultrapräzisionsformgebung mit Plasmen und Ionen am IOM Leipzig 2007 - 2012: Gruppenleiter Entwicklung Plasmaprozesse am IOM Leipzig 2000 - 2007: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. Leipzig (IOM) |
Engagement im Wissenschaftssystem
- Reviewer mehrerer internationaler Zeitschriften
- Mitglied der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO)
- Mitglied bei OPTICA (formely OSA)
- Mitglied bei Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG)
Betreuung von Forschenden
- 6 DoktorandInnen abgeschlossen
- 9 DiplomandInnen (MSc., Diplom) abgeschlossen
- derzeit direkter Betreuer von 4 DoktorandInnen
Wissenschaftliche Ergebnisse
Fachaufsätze in Peer Review-Zeitschriften / Beiträge zu Konferenzen oder Sammelbänden jeweils mit Peer Review / Buchpublikationen (Auszug)
1. H. Müller, Th. Arnold, Surface morphology in plasma jet polishing: theoretical description and application, J. Eur. Opt. Soc. Rapid Publ. 19 (2023) 37, 10.1051/jeos/2023034
2. F. Hölzel, D. Rolón, J. Bauer, J. Kober, S. Kühne, F. Pietag, D. Oberschmidt, T. Arnold,
Reactive ion beam smoothing of rapidly solidified aluminum (RSA) 501 surfaces for potential visible and ultraviolet light applications, Surf. Interfaces 38 (2023) 102784, 10.1016/j.surfin.2023.102784.
3. M. Rudolph, P. Birtel, T. Arnold, A. Prager, S. Naumov, U. Helmstedt, A. Anders, P.C. With, Low-temperature atmospheric pressure plasma conversion of polydimethylsiloxane and polysilazane precursor layers to oxide thin films, Plasma Process Polym. 5 (2023) 2200229, 10.1002/ppap.202200229.
4. H. Müller, T. Waak, U. Birnbaum, G. Böhm, T. Arnold, Atmospheric plasma jet processing for figure error correction of an optical element made from S-BSL7, J. Eur. Opt. Soc. Rapid Publ. 18 (2022) 4; 10.1051/jeos/2022003
5. M. Ulitschka, J. Bauer, F. Frost, T. Arnold, Improvement of the optical properties after surface error correction of aluminum mirror surfaces, J. Eur. Opt. Soc. Rapid Publ. 17 (2021) 1; 10.1186/s41476-020-00143-6
6. F. Kazemi, G. Boehm, T. Arnold, Recursive algorithm for modeling non-linear etching rates in reactive plasma jet based optical surface machining of borosilicate crown glass, Precis. Eng. 72 (2021) 205-214; 10.1016/j.precisioneng.2021.04.013
7. F. Kazemi, T. Arnold, P. Lorenz, M. Ehrhardt, K. Zimmer, Combined reactive plasma jet-laser etching method for technical optical glass containing metal oxides, Appl. Surf. Sci. 515 (2021) 149339; 10.1016/j.apsusc.2021.149339
8. F. Kazemi, G. Boehm, Th. Arnold, An investigation on effectiveness of temperature treatment for fluorine‐based reactive plasma jet machining of N‐BK7®, Plasma Processes and Polymers (2020) e2000016; 10.1002/ppap.202000016
9. M. Ulitschka, J. Bauer, F. Frost, T. Arnold, Ion beam planarization of optical aluminum surfaces, J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 6 (2020) 014001; 10.1117/1.JATIS.6.1.01400
10. M. Ulitschka, J. Bauer, G. Dornberg, F. Frost, T. Arnold, Local smoothing of optical aluminum surfaces by reactive ion beam etching, Opt. Eng. 59 (2020) 035108; 10.1117/1.OE.59.3.035108
Beiträge zu Konferenzen oder Sammelbänden jeweils ohne Peer Review / Angemeldete und erteilte Patente (Auszug)
1. R. Heinke, T. Arnold, M. Ehrhardt, P. Lorenz, K. Zimmer, Combining atmospheric pressure plasma jet processing with pulsed laser ablation for ultra-precise processing of technical glasses, 2023 EMRS Spring Meeting, Strasbourg, France, 29.05.-02.06. 2023
2. H. Müller, Th. Arnold, Plasma jet polishing of optical surfaces, 10th European Seminar on Precision Optics Manufacturing, Deggendorf Institute of Technology, Teisnach, Germany, 18.04. 2023
3. F. Hoelzel, H. Mueller, G. Boehm, H. Paetzelt, T. Arnold, Präzisionsbearbeitung mit plasmajet machining, Plasma Germany Frühjahrssitzung, Leipzig, Germany, 26.-27.04. 2023
4. F. Hölzel, D. Rolón, J. Bauer, T. Arnold, Reactive ion beam etching of aluminum UV-VIS optics, Photonic Days Berlin Brandenburg 2022, Berlin, Germany, 05.-06.10. 2022
5. T. Arnold, F. Pietag: Vorrichtung und Verfahren zum Schalten einer Ionenstrahlquelle, DE102020103218A1 (2021).
6. T. Arnold, M. Ehrhardt, F. Kazemi, P. Lorenz, K. Zimmer, Klaus: Verfahren zur Bearbeitung einer Oberfläche eines Festkörpers, DE102020001774A1 (2021).
7. T. Arnold, J. Bauer, F. Frost, M. Ulitschka: Verfahren zum Glätten von Oberflächen, DE102019111684A1 (2020).
8. T. Arnold, G. Böhm, M. Ehrhardt, H. Paetzelt, K. Zimmer, Verfahren zur 3D-Strukturierung und Formgebung von Oberflächen aus harten, spröden und optischen Materialien, DE102012010635B4 (2022)
9. T. Arnold, G. Böhm, H. Paetzelt, Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma- oder Radikalstrahles DE202017103165U1 (2017)
10. T. Arnold, F. Pietag: Vorrichtung zum Schalten einer Ionenstrahlquelle, DE202020100668U1 (2020)