Forschung an der Professur Ultrapräzisionsbearbeitung
An der Professur werden Mechanismen der Wechselwirkung chemisch reaktiver Atmosphärendruck-Plasmajets sowie niederenergetischer Ionenstrahlen mit Oberflächen grundlegend untersucht. Daraus werden deterministische Bearbeitungstechnologien zur ultrapräzisen Formgebung von Oberflächen bis hin zu industrietauglichen Fertigungsketten entwickelt. Hauptanwendungsfeld der Technologien ist die Herstellung komplexer Oberflächenformen wie Asphären und Freiformflächen für Ultrapräzisionsoptiken, die mit Fertigungstoleranzen von wenigen Nanometern gefertigt werden müssen.
© Arnold
Ultrapräzisionsformgebung mit Ionen und Plasmen
An der Professur UPB werden Mechanismen der Wechselwirkung chemisch reaktiver Atmosphärendruck-Plasmajets sowie niederenergetischer Ionenstrahlen mit Oberflächen grundlegend untersucht und daraus Bearbeitungstechnologien zur ultrapräzisen Formgebung von Oberflächen bis hin zu industrietauglichen Fertigungsketten entwickelt. Hauptanwendungsfeld der Technologien ist die Herstellung komplexer Oberflächenformen wie Asphären und Freiformflächen für Ultrapräzisionsoptiken, die mit Fertigungstoleranzen von wenigen Nanometern gefertigt werden müssen. Diese Anforderungen gelten sowohl bezüglich der langwelligen Form als auch dem mittelwelligen Strukturbereich und der Mikrorauheit. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, werden auch die strahlbasierten Bearbeitungswerkzeuge (Plasmajetquellen, Ionenstrahlquellen) weiterentwickelt. Die Formgebung und -korrektur von Oberflächen erfordert präzise Messtechnik zur Bestimmung von Form und Rauheit. Der Arbeitsgruppe steht dafür eine umfangreiche Ausstattung an modernsten Messsystemen zur Verfügung.
Diese Forschungsschwerpunkte werden am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM) in Leipzig bearbeitet.
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