Profil
FORSCHUNG
- Deterministische Herstellung und Korrektur komplexer optischer Oberflächen (Asphären- bzw. Freiformflächen auf Elementen aus Gläsern, Kristallen, Keramiken und Metallen) mit Zielgenauigkeiten im Nanometerbereich
- Entwicklung additiver und subtraktiver nichtkonventioneller Bearbeitungsmethoden
- Ionen- und plasmagestützte Strukturierung bzw. Glättung von optischen Oberflächen
- Entwicklung von Prozessketten unter maßgeblicher Beteiligung Ionenstrahl- und plasmagestützter Bearbeitungsverfahren
- Entwicklung und Optimierung der Ionen- und Plasmawerkzeuge sowie ganzer Bearbeitungssysteme
- Optimierung der Verfahren zur Ultrapräzisions-Oberflächenmesstechnik
- Grundlagenuntersuchungen zu Wechselwirkungsmechanismen der Plasma- und Ionenstrahlwerkzeuge mit Oberflächen
- Prozesssimulation
LEHRE
- Vorlesungsangebot zum Thema "Nano- und Ultrapräzisionstechnologie" im Wintersemester
sowie zu "Photonischer Messtechnik" im Sommersemsester - Betreuung von Beleg- und Abschlussarbeiten sowie Dissertationen
