Lehrveranstaltungen
VORLESUNGEN
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WS - Modul "Nano- und Ultrapräzisionstechnologie"
Modulnummer: MW-MB-PT-31
Lehr- und Lernformen: Vorlesung 3 SWS, Praktikum 1 SWS, Selbststudium
Qualifikationsziele: Die Studierenden besitzen tiefere Kenntnisse über die Grundlagen aus-gewählter Fertigungsverfahren für hohe technologische Anforderungen, die sich aus den Stoffgebieten der Ultrapräzisionsbearbeitung sowie den Nanotechnologien ergeben.
Inhalte: Das Modul umfasst grundlegende Aspekte der Nanotechnologie bezüglich Herstellung, Charakterisierung und Anwendung von Nanostrukturen, die theoretischen Grundlagen von ionen- und plasmagestützten Ultrapräzisionsfertigungsverfahren, von Verfahren der Präzisionsoptikfertigung sowie Anwendungsfelder für die ultrapräzise Oberflächenbe-arbeitung auf Nanometerskala in den Bereichen Optikfertigung und Halbleitertechnik. Modulinhalte sind weiterhin die physikalischen und chemischen Wechselwirkungsmechanismen der teilchenstrahlbasierten Werkzeuge, die Dimensionierung und Auslegung von Ionenstrahl- und Plasma-Anlagentechnik sowie Methoden der messtechnischen Charakterisierung von Ultrapräzisionsoberflächen.
Link zum OPAL-Lernportal:
LV Ultrapräzisionsbearbeitung
LV Nanotechnologie
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SS - Modul "Photonische Messtechnik"
Modulnummer: MW-MB-PT-13
Lehr- und Lernformen: Vorlesung 3 SWS, Praktikum 2 SWS
Qualifikationsziele: Die Studierenden besitzen erweiterte Grundkenntnisse über Messverfahren, Messsysteme und Messmethoden aus der Messtechnik und können mit Hilfe von Licht physikalische Größen und Eigenschaften bestimmen.
Inhalte: Inhalte des Moduls sind optische Verfahren für längenmesstechnische Aufgaben sowie die Grundlagen der Charakterisierung der Oberflächentopographie (Konfokal-Mikroskopie, Weißlichtinterferometrie und Laser-Profilometrie). Das Modul umfasst die photonisch basierten Verfahren wie die Ellipsometrie und das spektroskopische Verfahren zur Eigenschaftsbestimmung.