Entwicklung eines integrierten Plasmagas-Recyclingsystems
Laufzeit: September 2012 - Februar 2015
OGAPLAS
Der Einsatz von Edelgasmischungen zum Betrieb der Atmosphärendruck-Plasmaquellen kann insbesondere bei skalierten Anwendungen sehr schnell zu hohen Prozesskosten führen. Weiterhin entstehen bei Prozessen für Schichtabscheidung teilweise umweltgefährdende Stoffe, welche zur Vermeidung gefährlicher Emissionen kostenintensiv entsorgt werden müssen. Das Gasrecycling durch den Einsatz adsorptiver Trennmethoden zur Kostensenkung von Plasmaprozessen steht im Fokus der Untersuchungen innerhalb des Teilprojektes.
