29.11.2013
Dresden Center for Nanoanalysis nimmt hochwertige Spezialmikroskope in Betrieb
Das Dresden Center for Nanoanalysis nimmt Anfang Dezember
zwei neue Spezial-Mikroskope in Betrieb und startet damit ein
dreijähriges Projekt zur Erforschung von eindimensionaler
Elektronik. Die Ergebnisse sollen in den Forschungspfaden
„Silicon Nanowire“ und „Carbon“ des Center for Advancing
Electronics Dresden (cfaed) der Technischen Universität Dresden
(TUD) ausgewertet werden. Für das Projekt wurden ein
Rasterelektronenmikroskop mit fokussierendem Ionenstrahl und
ein Sub-Mikrometer-Röntgentomograph angeschafft. Weitere
benötigte Großgeräte, darunter ein Nano-Röntgentomograph und
ein Transmissionselektronenmikroskop, welche schon innerhalb
der TUD und der kooperierenden Forschungsinstitute vorhanden
sind, können für das Forschungsvorhaben genutzt werden. Das
Projekt wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung
mit rund 3,2 Millionen Euro gefördert. Im Oktober haben bereits
drei Projektmitarbeiter - ein Post-Doc, ein Doktorand und ein
Techniker - ihre Arbeit aufgenommen. Dieses Vorhaben
unterstützt damit den weiteren Aufbau des DCN als
technologische Plattform des cfaed und der TU Dresden.
Bei dem Projekt unter der Leitung von Professor Ehrenfried
Zschech sollen zuverlässigkeits-limitierende
Degradationsmechanismen in 1-D-Elektronik-Bauelementen und
-Systemen analysiert werden, um eine Basis zur
Prozessentwicklung und zur Qualitätskontrolle bei der
Herstellung künftiger mikroelektronischer Produkte zu schaffen.
Auf dem Verständnis der festkörperphysikalischen Phänomene und
Prozesse aufbauend, sollen Modelle entwickelt werden, mit deren
Hilfe Schlussfolgerungen für Design, Prozesse und Materialien
für neuartige mikroelektronische Bauelemente gezogen werden
können. Damit soll eine wesentliche Voraussetzung für eine
spätere industrielle Nutzung dieser Technologie geschaffen
werden.
Es wird allgemein davon ausgegangen, dass die
Leistungsfähigkeit der derzeitigen Complementary Metal Oxide
Semiconductor (CMOS, deutsch: komplementärer
Metall-Oxid-Halbleiter)-Technologie in etwa zehn bis fünfzehn
Jahren nicht mehr ausreichend ist. Im Exzellenzcluster „Center
for Advancing Electronics Dresden“ der TUD wird daher auf
verschiedenen Wegen nach neuen Technologien geforscht, die die
herkömmlichen siliziumbasierten Halbleitertechniken verbessern
oder ergänzen könnten.
Die auf eindimensionalen Nanostrukturen wie
Silizium-Nanodrähten und Kohlenstoff-Nanoröhren basierenden
innovativen elektronische Bauelemente sowie nanobasierte
Sensorik werden eine deutlich höhere Leistungsfähigkeit als
derzeitige CMOS-Bauelemente und Sensorsysteme haben. Dadurch
wird es möglich werden, neue Anwendungen zu erschließen, u. a.
in den Bereichen Automobil, Maschinenbau, Logistik, Energie,
Sensorik sowie Medizintechnik und Gesundheitsmonitoring. Durch
enge Wechselwirkung mit innovativen Unternehmen soll die
Forschung von Anfang an auf eine industrielle Nutzung
ausgerichtet sein.
Ein öffentliches Nanoanalytik-Kolloquium des DCN findet am 2.
Dezember 2013, 14 bis 17 Uhr, in der SLUB Dresden, Zellescher
Weg 18, 01069 Dresden statt.
Informationen für Journalisten:
Prof. Dr. Ehrenfried Zschech
Honorarprofessur Nanoanalytik
Dresden Center for Nanoanalysis (DCN)
+49 351 463-41093
Birgit Holthaus
Press Officer
Center for Advancing Electronics Dresden
+49 351 463-42848