Plasmatechnik
(Stand: Sep. 2026)
Der Kurs behandelt die Grundlagen der Vakuumtechnik, Plasmaphysik, industriellen Plasmaprozesse und Prozesswerkzeugkonstruktion und führt die Studierenden in die Grundlagen des Dünnschichtwachstums ein. Er liefert Beispiele für verschiedene Arten von Beschichtungen, die heute verwendet werden, wie Hartbeschichtungen und Barrieren, Glas- und optische Beschichtungen, elektronische und funktionelle Beschichtungen, organische Elektronik sowie plasmabasierte Behandlungstechnologien. Die Studierenden erwerben ein grundlegendes Verständnis der Physik von Plasmen, die in industriellen Prozessen und Werkzeugen verwendet werden. Darüber hinaus werden sie in die Lage versetzt, geeignete technische Plasmaquellen und Plasma-Prozesswerkzeuge für spezifische Anwendungen auszuwählen. Außerdem werden die Studierenden mit typischen Beispielen für Schichten und Schichtstapel vertraut gemacht, die in wichtigen Anwendungsbereichen für Beschichtungen verwendet werden.
| Dozent | Prof. Elizabeth von Hauff, Dr. Agne Zukauskaite |
| Modul | ET-12 11 05 & NES-ET-E PlaTe |
| V/Ü/P | 4/2/0 |
| Semester | Wintersemester 2026/27 |
| Sprache | Englisch |
| Wann | Vorlesung Donnerstag 13:00 - 16:20 Übung Freitag 14:50 - 16:20 |
| Wo | BAR E85 |
| Material | OPAL, Course Notification |
| Inhalt |
Nach Abschluss dieses Moduls werden die Studierenden vertraut sein mit:
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