Institut für Halbleiter- und Mikrosystem­technik

Die Entwicklungen in der Mikroelektronik sind in den letzten vier Dekaden insbesondere durch die fortschreitende Miniaturisierung charakterisiert. Dabei hat es immer wieder Innovationssprünge gegeben, aber aus einer globalen Sicht heraus hat sich die Entwicklung der Halbleitertechnik sehr stetig vollzogen. Gegenwärtig besteht die Herausforderung in der Beherrschung von Strukturen im Nanometerbereich.

Seit Mitte der 1980er Jahre werden in stark wachsendem Maße Technologien aus der Mikroelektronik eingesetzt, um Miniatur-Bauteile zu erzeugen, die neben einer elektrischen auch eine mechanische, thermische, akustische oder optische Funktion erfüllen. Dieser Bereich, der als Mikrosystemtechnik bezeichnet wird, ist daher mit der Halbleitertechnik eng verknüpft. Speziell der Bereich der optoelektronischen Bauelemente und Systeme hat eine große Bedeutung in der Anwendung erlangt.
Spätestens seit Einführung der sogenannten äquivalenten Skalierung in der Mikro- und Nanoelektronik kommt den verwendeten Materialien eine besondere Bedeutung zu. Der Einsatz dieser nanoelektronischen Materialien geht aber auch über die Mikro- und Nanoelektronik hinaus.

Am IHM der TU Dresden sind mehrere Professuren zusammengefasst, die fachlich und organisatorisch sehr eng zusammenarbeiten. Neben der gemeinsamen Nutzung von Ressourcen und der Interdisziplinarität, wird die Arbeit insbesondere durch den Synergiegedanken geprägt. Die Kompetenzen der IHM-Mitarbeiter erstrecken sich von der Elektrotechnik über Physik und Werkstofftechnik bis hin zur Chemie.