Historie

An der ehemaligen Sektion Elektroniktechnologie und Feingerätetechnik der TU Dresden wurde 1978 das Technikum Mikroelektronikmontage gegründet. Dieses Technikum sollte in Lehre und Forschung den Entwicklungen in der Mikroelektronik Rechnung tragen und insbesondere auf dem Gebiet der Montagetechnologien integrierter Schaltkreise, Sensoren und bereits auch diverser Mikrosysteme tätig sein. 1983 wurde das Technikumsgebäude als Labor- und Bürokomplex in Betrieb genommen.

Im Herbst 1990 wurde der Antrag zum Zusammenschluss der Lehrstühle Technologie elektronischer Bauelemente (Prof. Dr. K. Drescher), Elektroniktechnologie/Werkstoffe (Prof. Dr. G. Blasek) und Elektroniktechnologie/Montage (Prof. D. Gerber) und zur Gründung des Instituts für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik gestellt. Weitere strukturelle Änderungen bis 1994 führten dazu, dass das IHM zwei C4-Professuren (Professur für Halbleitertechnik - Prof. K. Drescher und Professur für Mikrosystemtechnik - Prof. W.-J. Fischer) und eine C3-Professur (Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik - Prof. E. Meusel) erhielt. Am 1. November 1993 wurde dem Gebäude Nöthnitzer Straße 64 zur Erinnerung an einen Mitbegründer der modernen Elektrotechnik/Halbleitertechnik der Name Mierdel-Bau verliehen. Nach der Emeritierung von Herrn Prof. Dr. K. Drescher im Jahre 1997 übernahm Prof. Dr. E. Meusel das Amt des Institutsdirektors. Die Professur für Halbleitertechnik wurde neu ausgeschrieben und von Herrn Prof. J. W. Bartha ab 1. März 1999 übernommen. Dieser wiederum übernahm das Amt des Institutsdirektors mit Wirkung vom 1. April 2003. Mit der Emeritierung von Herrn Prof. Meusel wurde diese Professur in ein neues Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik (IAVT - Prof. Dr. J. Wolter) eingegliedert. Fast zeitgleich dazu wurde Herr Prof. Dr. H. Lakner zum Professor für Optoelektronische Bauelemente und Systeme berufen. Diese Professur ist verbunden mit der Institutsleiterstelle im Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) in Dresden.

Direkt hinter dem Mierdel-Bau und über einen Schleusengang verbunden befindet sich das 2006 in Betrieb genommene, 411 m² große Reinraumlabor, mit dem die beteiligten Professuren die technischen Voraussetzungen für eine praxisnahe und in hohem Maße industriekompatible Forschung erhalten haben. Die darüberhinaus bestehenden intensiven wissenschaftlichen Beziehungen zu den Material- und Naturwissenschaftlern und den Maschinenbauern der TU Dresden, der Industrie, insbesondere zu den Mikroelektronikunternehmen der Region, sowie vielen weiteren Forschungseinrichtungen in der Umgebung bilden die Voraussetzung für Synergien zur erfolgreichen Entwicklung und Applikation der Mikro- und Nanotechnologien.

Seit dem 1. Oktober 2009 bereichert Herr. Prof. T. Mikolajick mit der Professur für Nanoelektronische Materialien das Lehr- und Forschungsspektrum am IHM. Unabhängig von seiner Zugehörigkeit zum IHM ist Prof. Mikolajick der wissenschaftliche Leiter der benachbarten NaMLab gGmbH, die ursprünglich als ein Joint Venture der TU Dresden und der Qimonda AG gegründet wurde und seit der Insolvenz von Qimonda eine gGmbH der TU Dresden ist. Das Forschungsgebäude der NaMLab gGmbH befindet sich in unmittelbarer Nähe zu dem am südlichen Rand des Campus gelegenen Institutsgebäude und verfügt ebenfalls über ein ausgedehntes Reinraumlabor.

2014 konnte eine weitere Verbesserung der Labor- und Forschungsmöglichkeiten erreicht werden. Neben dem Werner-Hartmann-Bau wurde das Forschungsgebäude am Mierdel-Bau (FAM) in Betrieb genommen. Dieses Laborgebäude beherbergt insbesondere Labore der Mikrosystemtechnik, der Werkstoffanalytik und der chemischen Technologien. Der Mierdel-Bau wird mit seiner in Planung befindlichen Rekonstruktion zu einem Büro- und Unterrichtsgebäude umgebaut werden.