Dr.-Ing. Martin Knaut
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
Arbeits- und Forschungsbereiche
- Chemische Abscheidung dünnster Schichten für Anwendungen in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, insbesondere thermische und plasmagestützte Atomlagenabscheidung (ALD)
- Entwicklung und Charakterisierung neuer ALD-Prozesse und Anpassung der entsprechenden Anlagentechnik
- In situ und ex situ Messtechniken zur Überwachung und Entwicklung von ALD Prozessen
- Schwingquarzmessungen (QCM)
- Photoelektronenspektroskopie (XPS, UPS)
- Rasterkraftmikroskopie (AFM)
- Rastertunnelmikroskopie (STM, STS)
- Massenspektrometrie (QMS)
- Spektroskopische Ellipsometrie (SE) - Untersuchung und Charakterisierung von Oberflächen, Grenzflächen und dünnsten Schichten bzw. Schichtstapeln
- Elektrische Charakterisierung funktionaler Schichten und Strukturen
- Rechentechnik- und Netzwerkadministrator am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
- Administrator und Chefredakteur des Internetauftritts des IHM
- Strahlenschutzbeauftragter am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
- Gründungsmitglied ALD Lab Saxony
Kontakt
- Email: Martin.Knaut(at)tu-dresden.de
- Büro: +49 (0) 351 463 33817
- Labor: +49 (0) 351 463 34382
- Fax: +49 (0) 351 463 37172
- Sitz: Mierdel-Bau (Raum 104), Nöthnitzer Str. 64