Published Journals
Fabrication of silicon template with smooth tapered sidewall for nanoimprint lithography
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
J. Vac. Sci. Technol.
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Reihe
Seiten 06FC16-1 bis 06FC16-5
Band/Vol.
B 29(6)
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
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