Veröffentlichte Journale
Atomic layer deposited high-κ nanolaminates for silicon surface passivation
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technolgy, B
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
32
Heftnummer/Issue
3
Seiten
03D110-03D110-6
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2014
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