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Ultradünne funktionale Schichten für die Mikroelektronik und andere Anwendungen
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Dresdner Transferbrief “Nanotechnologie” 2/05
Verlagsort
Dresden
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Vermerk
Neuerscheinung
Seiten
8
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Back-End Processing/Bumping
Berichtsjahr
2005
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