Veröffentlichte Journale

Schmidt, D. ; Strehle, S. ; Albert, M. ; Hentsch, W. ; Bartha, J.W.

Top Injection Reactor Tool with in situ Spectroscopic Ellipsometry for growth and characterization of ALD thin films

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Microelectronic Engineering

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2008

Band/Vol.

Seiten

527-533

Referiert

Nein

Url/Urn/Doi

http://

Berichtsjahr

2007

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