Published Journals

Rose, M. ; Bartha, J.W. ; Endler, I.

Temperature dependence of the sticking coefficient in atomic layer deposition

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Applied Surface Science

Schlagwörter

Atomic layer deposition, Sticking coefficient, Temperature dependence, Deep trench, Simulation, TEMAHf

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2010

Band/Vol.

256

Seiten

3778-3782

Referiert

Url/Urn/Doi

10.1016/j.apsusc.2010.01.025

Berichtsjahr

2010

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