Veröffentlichte Journale
Water uptake of a low-k dielectric film: Combining capacitance and gravimetric measurements
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering
Schlagwörter
low-k film, Moisture uptake, Capacitance-time measurements, Gravimetric-measurements
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Band/Vol.
106
Seiten
177-181
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2013
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