Published Journals

Reitz, D. ; Heuer, H. ; Baunack, S. ; Hübner, R. ; Hoffmann, V. ; Menzel, S. ; Wenzel, C. ; Wetzig, K.

Investigation of a Ta–Si–O/Ta–Si–N bilayer system for embedded SAW finger structures

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Microelectronic Engineering 82 (2005)

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2005

Seiten

301-306

Referiert

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

* Kupfermetallisierung/Diffusionsbarrieren/Isolatoren mit niedriger und hoher Dielektrizitätskonstante

Zugeordnete Forschungsprojekte

Berichtsjahr

2005

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