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Henke, T. ; Knaut, M. ; Hoßbach, C. ; Geidel, M. ; Rebohle, L. ; Albert, M. ; Skorupa, W. ; Bartha, J.W.

Flash-Enhanced Atomic Layer Deposition: Basics, Opportunities, Review, and Principal Studies on the Flash-Enhanced Growth of Thin Films

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

ECS Journal of Solid State Science and Technology

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2015

Band/Vol.

Heftnummer/Issue

Seiten

277-287

Referiert

Open Access

Url/Urn/Doi

10.1149/2.0301507jss

Berichtsjahr

2015

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