Published Journals

Simon, D. K. ; Henke, T. ; Jordan, P. M. ; Fengler, F. P. G. ; Mikolajick, T. ; Bartha, J.W. ; Dirnstorfer, I.

Low-thermal budget flash light annealing for Al2O3 surface passivation

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Physica Status Solidi (RRL) – Rapid Research Letters

Schlagwörter

Al2O3, surface passivation, flash light annealing, atomic layer deposition, carrier lifetimes

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2015

Band/Vol.

Heftnummer/Issue

Seiten

631-635

Referiert

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

DOI: 10.1002/pssr.201510306

Berichtsjahr

2015

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