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Schwille, M. C. ; Schössler, T. ; Barth, J. ; Knaut, M. ; Schön, F. ; Höchst, A. ; Oettel, M. ; Bartha, J.W.

Experimental and simulation approach for process optimization of atomic layer deposited thin films in high aspect ratio 3D structures

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 35, 01B118

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2017

Referiert

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

10.1116/1.4971196

Berichtsjahr

2017

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