Published Journals
Breakdown and Protection of ALD Moisture Barrier Thin Films
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
ACS Appl. Mater. Interfaces, 2015, 7 (40)
Schlagwörter
atomic layer deposition; barrier; corrosion; encapsulation; water vapor; WVTR
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Seiten
22121-22127
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1021/acsami.5b06891
Berichtsjahr
2015
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