Research fields

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Atomlagen­abscheidung (ALD)

• Grundlegende Untersuchungen zum Schichtwachstum bei der Atomlagen­abscheidung von Metallschichten
• Einsatz der Atomlagenabscheidung in der Nanotechnologie von Metallschichten

Speicherzellen

• Hafniumoxid basierende Isolatorschichten für Speicherzellen (Verbundprojekt SOHAR)
• Materialentwicklung und –charakterisierung für Speicheranwendungen, realisiert durch eine Kondensator–Route (KONDOR)

Materialmodifizierung und Charakterisierung

• Untersuchungen des Einflusses einer RTP Behandlung auf ohmsche und Schottky-Kontakte von Metallen mit p- und n-Halbleitern ZnO
• Kleinster spezifischer Kupferwiderstand in NANO-Leitbahnen (KUWANO)
• Elektrische Charakterisierung von SACVD-Schichten
• Poröse Ultra-Low-k-Dielektrika: Abscheidung, Ausheilung, Strukturierung, Planarisierung, Integration
• Simulationskonzept für 32-nm-CMOS-Technologien (SIMKON) zum Thema: Untersuchung chemischer und physikalischer Grenzflächenvorgänge während der Oxid-CMP

Verbindungstechnik

• Entwicklung einer Prozesskette für die Herstellung, die Verarbeitung und den Einsatz von beschichteten Bonddrähten

Solarzellen

• Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin–Solarzellen mittels einer VHF–PECVD–Durchlaufanlage

Biowissenschaften

• Laser-Stretching in opto-fluidischen Mikrosystemen - Ein neues Verfahren zur Zelldiagnose und Zellseparation im Life-Science-Bereich