Forschungspro­jekte der Professur Nanoelektronik

Die Forschungsprojekte der Professur Nanoelektronik umfassend zahlreiche Forschungsgebiete und stehen im direkten Zusammenhang mit den in der Halbleitertechnik angewendeten Materialentwicklungen, Fertigungstechniken und Prozessen sowie Bauelemententwicklung/-integration.

Nachfolgend finden Sie eine Übersicht der aktuellen Forschungsprojekte:

• ALDRAM
  "Optimized ALD processes for High-k RRAM Cells"
• AWEO
  "Atomic Layer Deposition (ALD) von Wismut und Eisen enthaltenden Oxiden-Schichten"
• ENSARÖSI
  "Entwicklung und Optimierung eines sauerstoffplasmaresistenten Röntgentransmissionsfensters für Silizium-Drift-Detektor-Module"
• FASTASIH 
• ForLab
• MCED-Implant
  "Mikroelektroden auf 3D-Implantaten für Medizintechnik und Bio-Sensorik"
• MultiPlaQ
  "Entwicklung und Charakterisierung einer Multilayer Platine aus Quarz für Hochfrequenzanwendungen"
• NeuroMCross  (Teil von MemrisTec)
  "Neurotransistor-based Memristive Crossbar Memcomputing"
• REC²
  "Responsible Electronics in the Climate Change Era"
• SECAI
  " School of Embedded Composite Artificial Intelligence"
• TRR404 Active-3D
  "Next Generation Electronics With Active Devices in Three Dimensions"
  Projekte B03 und C01
• UHFO
  "Entwicklung einer UHF-Mikrowellen - Quellenanordnung zur optimierten Erzeugung industrieller Plasmen mit steuerbarem Substratbeschuss"