Abschlussarbeiten - Bachelor
Optimierung der Herstellung von Hafnium-Oxidschichten
Art der Abschlussarbeit
Bachelor
Autoren
- Böhnhardt, S.
Betreuer
- Dipl.-Phys. Thorsten Rößler
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2006